Graduate School of Engineering, Kobe University
工学研究科Department
工学研究科は、環境共生型持続的発展社会の構築に直結する工学知識・基盤技術・応用技術を創造し社会還元することをめざす教育研究組織です。
本センターは、「地域中核・特色ある研究大学強化促進事業（J-PEAKS）」の予算により、
工学研究科内の先端膜工学センター2階のクリーンルーム（機械工学専攻管理）に設置。
これまで微細加工が必要となる研究テーマを避けていた教員にとっては研究テーマ設定時の制約が無くなり、より高度な研究を実施することが可能になる。また、他大学の設備を利用していた教員や他グループとの共同研究により微細加工を行っていた教員にとってはリードタイムが短くなり、研究の競争力を高めることができる。さらに、微細加工技術を通して研究科内もしくは学内での共同研究を促進する機運が生まれることが期待できる。
機械工学、化学工学、電気電子工学、光工学、生物工学、医療工学などの分野において、数10nm～数μmスケールの微細構造の形成は最先端の研究の推進に不可欠である。多くの大学が微細加工を支援するセンターを運営しているが、神戸大学にはそのような組織がなく、多くの分野において研究推進の障害となっている。この状況を打破し、神戸大学において微細構造を用いる研究を促進し、新たな価値を創出する基盤技術を強化することを目的に、微細加工プロセスを支援するセンターを設置する。
センターに設置する電子ビーム描画装置等の微細加工設備は非常に高価であり、環境を厳密に管理したクリーンルームに設置する必要がある。また、装置の管理・運用には専門のトレーニングを受けたオペレータが必要である。微細加工が専門ではない教員・学生が微細加工プロセス導入の恩恵を広く受けるためには、部局内センターを立ち上げ、高度な技術を気軽に使える仕組みを構築する必要がある。
機械工学 磯野 吉正 [教授]
電気電子 藤井 稔 [教授]
応用科学 水畑 譲 [教授]
[教授]
電気電子 喜多 隆，電気電子 北村 雅季，
機械工学 神野 伊策，機械工学 田中 克志
機械工学 向井 敏司，機械工学 菅野 公二
応用科学 舟橋 正浩，
[准教授]
電気電子 杉本 秦，電気電子 朝日 重雄
電気電子 服部 吉晃，機械工学 肥田 博隆
機械工学 池尾 直子，機械工学 本間 浩章
応用科学 堀家 匠平，
[講師]
応用科学 南本 大穂
[助教]
コアファシリティーセンター 川﨑 大輝
[特命]
微細加工 渡邉 一平
〒657-8501
神戸市灘区六甲台町1-1
神戸大学大学院工学研究科 微細加工プロセス技術センター
渡邉 一平
Tel：078-803-6568
E-mail：kevin34(at)port.kobe-u.ac.jp
(at)を@に代えて送信して下さい。
